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| Nombre De Pièces: | 1 pièce |
| Prix: | US $ 15/PC |
| Emballage Standard: | Cylindre/réservoir |
| Période De Livraison: | 15 jours |
| Méthode De Paiement: | L/C, T/T |
| Capacité D'approvisionnement: | 200 tonnes par an |
L'hexafluorure de tungstène, également connu sous le nom de WF6, est un composé chimique composé d'un atome de tungstène et de six atomes de fluor.L'hexafluorure de tungstène est principalement utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour le dépôt de films minces de tungstène lors de la fabrication de circuits intégrés et d'autres appareils électroniques.
Voici quelques points clés concernant l'hexafluorure de tungstène:
Dépôt de films de tungstène: l'hexafluorure de tungstène est largement utilisé comme gaz précurseur dans les processus de dépôt de vapeur chimique (CVD) pour déposer des films minces de tungstène.Ces films servent de couches conductrices dans la fabrication de dispositifs microélectroniques, tels que les transistors, les interconnexions et les électrodes de porte.
Haute pureté et stabilité: le gaz WF6 est généralement disponible dans des catégories de haute pureté pour assurer la qualité et l'intégrité des films de tungstène déposés.permettant une croissance contrôlée et uniforme de la pellicule dans des conditions de processus spécifiques.
Processus CVD: Au cours du processus CVD, l'hexafluorure de tungstène est introduit dans une chambre de dépôt avec un agent réducteur, tel que l'hydrogène.Les molécules de WF6 se décomposent à température élevée, déposant des atomes de tungstène sur la surface du substrat de manière contrôlée.
Considérations de sécurité: L'hexafluorure de tungstène est un gaz hautement toxique et corrosif, qui nécessite une manipulation et un stockage prudents.Mesures de sécurité appropriées, y compris l'utilisation d'équipements spécialisés et d'équipements de protection, sont essentiels pour travailler avec WF6.
Impact environnemental: Comme d'autres composés fluorés, l'hexafluorure de tungstène peut contribuer à des problèmes environnementaux.Des pratiques de gestion et d'élimination rigoureuses sont nécessaires pour éviter son rejet dans l'environnement..
Il est important de noter que l'hexafluorure de tungstène est principalement utilisé dans des applications industrielles et spécialisées et que sa manipulation nécessite une expertise et le respect des protocoles de sécurité.
| Objets d'essai | Unités | Exigences de qualité | Résultats des essais |
| CF4 | en ppm | Le taux de dépôt5 | Le taux de dépôt01 |
| O2 | en ppm | Le taux de dépôt5 | Le taux de dépôt01 |
| N2 | en ppm | < 1 | 0.03 |
| Le CO | en ppm | Le taux de dépôt5 | Le taux de dépôt02 |
| Le CO2 | en ppm | Le taux de dépôt5 | Le taux de dépôt01 |
| SiF4 | en ppm | Le taux de dépôt5 | Le taux de dépôt1 |
| SF6 | en ppm | Le taux de dépôt5 | Le taux de dépôt1 |
| HF | en ppm | < 5 | 0.19 |
| Je vous en prie. | ppb | ≤ 10 | Le taux de dépôt020 |
| Comme | ppb | ≤ 10 | Le taux de dépôt001 |
| B. Pour | ppb | ≤ 10 | Le taux de dépôt005 |
| À peu près | ppb | ≤ 5 | Le taux de dépôt200 |
| Cd | ppb | ≤ 2 | Le taux de dépôt001 |
| Cr | ppb | ≤ 10 | Le taux de dépôt020 |
| Le Fe | ppb | ≤ 10 | Le taux de dépôt007 |
| Le K. | ppb | ≤ 5 | Le taux de dépôt100 |
| Nom de l'entreprise | ppb | ≤ 10 | Le taux de dépôt001 |
| Je ne sais pas. | ppb | ≤ 5 | Le taux de dépôt040 |
| Le | ppb | ≤ 01 | Le taux de dépôt001 |
| - Je vous en prie. | ppb | ≤ 10 | Le taux de dépôt002 |
| Je vous en prie. | ppb | ≤ 10 | Le taux de dépôt002 |
| U | ppb | ≤ 005 | Le taux de dépôt001 |
| Zn | ppb | ≤ 10 | Le taux de dépôt005 |
| Je sais. | ppb | ≤ 10 | Le taux de dépôt100 |
| Pb | ppb | ≤ 10 | Le taux de dépôt001 |
| P | ppb | ≤ 2 | Le taux de dépôt300 |
| M.g. | ppb | ≤ 10 | Le taux de dépôt020 |
| Je ne sais pas | ppb | ≤ 20 | Le taux de dépôt030 |
| - Je vous en prie. | ppb | ≤ 5 | Le taux de dépôt005 |
| Je vous en prie. | ppb | ≤ 10 | Le taux de dépôt001 |
| Impuretés totales d'autres métaux | ppb | ≤ 500 | Le taux de dépôt0010 |
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| Nombre De Pièces: | 1 pièce |
| Prix: | US $ 15/PC |
| Emballage Standard: | Cylindre/réservoir |
| Période De Livraison: | 15 jours |
| Méthode De Paiement: | L/C, T/T |
| Capacité D'approvisionnement: | 200 tonnes par an |
L'hexafluorure de tungstène, également connu sous le nom de WF6, est un composé chimique composé d'un atome de tungstène et de six atomes de fluor.L'hexafluorure de tungstène est principalement utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour le dépôt de films minces de tungstène lors de la fabrication de circuits intégrés et d'autres appareils électroniques.
Voici quelques points clés concernant l'hexafluorure de tungstène:
Dépôt de films de tungstène: l'hexafluorure de tungstène est largement utilisé comme gaz précurseur dans les processus de dépôt de vapeur chimique (CVD) pour déposer des films minces de tungstène.Ces films servent de couches conductrices dans la fabrication de dispositifs microélectroniques, tels que les transistors, les interconnexions et les électrodes de porte.
Haute pureté et stabilité: le gaz WF6 est généralement disponible dans des catégories de haute pureté pour assurer la qualité et l'intégrité des films de tungstène déposés.permettant une croissance contrôlée et uniforme de la pellicule dans des conditions de processus spécifiques.
Processus CVD: Au cours du processus CVD, l'hexafluorure de tungstène est introduit dans une chambre de dépôt avec un agent réducteur, tel que l'hydrogène.Les molécules de WF6 se décomposent à température élevée, déposant des atomes de tungstène sur la surface du substrat de manière contrôlée.
Considérations de sécurité: L'hexafluorure de tungstène est un gaz hautement toxique et corrosif, qui nécessite une manipulation et un stockage prudents.Mesures de sécurité appropriées, y compris l'utilisation d'équipements spécialisés et d'équipements de protection, sont essentiels pour travailler avec WF6.
Impact environnemental: Comme d'autres composés fluorés, l'hexafluorure de tungstène peut contribuer à des problèmes environnementaux.Des pratiques de gestion et d'élimination rigoureuses sont nécessaires pour éviter son rejet dans l'environnement..
Il est important de noter que l'hexafluorure de tungstène est principalement utilisé dans des applications industrielles et spécialisées et que sa manipulation nécessite une expertise et le respect des protocoles de sécurité.
| Objets d'essai | Unités | Exigences de qualité | Résultats des essais |
| CF4 | en ppm | Le taux de dépôt5 | Le taux de dépôt01 |
| O2 | en ppm | Le taux de dépôt5 | Le taux de dépôt01 |
| N2 | en ppm | < 1 | 0.03 |
| Le CO | en ppm | Le taux de dépôt5 | Le taux de dépôt02 |
| Le CO2 | en ppm | Le taux de dépôt5 | Le taux de dépôt01 |
| SiF4 | en ppm | Le taux de dépôt5 | Le taux de dépôt1 |
| SF6 | en ppm | Le taux de dépôt5 | Le taux de dépôt1 |
| HF | en ppm | < 5 | 0.19 |
| Je vous en prie. | ppb | ≤ 10 | Le taux de dépôt020 |
| Comme | ppb | ≤ 10 | Le taux de dépôt001 |
| B. Pour | ppb | ≤ 10 | Le taux de dépôt005 |
| À peu près | ppb | ≤ 5 | Le taux de dépôt200 |
| Cd | ppb | ≤ 2 | Le taux de dépôt001 |
| Cr | ppb | ≤ 10 | Le taux de dépôt020 |
| Le Fe | ppb | ≤ 10 | Le taux de dépôt007 |
| Le K. | ppb | ≤ 5 | Le taux de dépôt100 |
| Nom de l'entreprise | ppb | ≤ 10 | Le taux de dépôt001 |
| Je ne sais pas. | ppb | ≤ 5 | Le taux de dépôt040 |
| Le | ppb | ≤ 01 | Le taux de dépôt001 |
| - Je vous en prie. | ppb | ≤ 10 | Le taux de dépôt002 |
| Je vous en prie. | ppb | ≤ 10 | Le taux de dépôt002 |
| U | ppb | ≤ 005 | Le taux de dépôt001 |
| Zn | ppb | ≤ 10 | Le taux de dépôt005 |
| Je sais. | ppb | ≤ 10 | Le taux de dépôt100 |
| Pb | ppb | ≤ 10 | Le taux de dépôt001 |
| P | ppb | ≤ 2 | Le taux de dépôt300 |
| M.g. | ppb | ≤ 10 | Le taux de dépôt020 |
| Je ne sais pas | ppb | ≤ 20 | Le taux de dépôt030 |
| - Je vous en prie. | ppb | ≤ 5 | Le taux de dépôt005 |
| Je vous en prie. | ppb | ≤ 10 | Le taux de dépôt001 |
| Impuretés totales d'autres métaux | ppb | ≤ 500 | Le taux de dépôt0010 |
