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| Nombre De Pièces: | 1 pièce |
| Prix: | US $ 15/PC |
| Emballage Standard: | Cylindre/réservoir |
| Période De Livraison: | 15 jours |
| Méthode De Paiement: | L/C, T/T |
| Capacité D'approvisionnement: | 200 tonnes par an |
L'hexafluorure de tungstène (WF6) est un composé chimique composé d'un atome de tungstène et de six atomes de fluor.L'hexafluorure de tungstène est très réactif et peut réagir violemment avec l'eau ou l'humidité de l'air., libérant du fluorure d'hydrogène.
Les applications de l'hexafluorure de tungstène comprennent son utilisation comme précurseur pour le dépôt de films de tungstène dans les processus de fabrication de semi-conducteurs.Il est couramment utilisé dans les techniques de dépôt de vapeur chimique (CVD) pour créer des films minces de tungstène pour diverses applicationsL'hexafluorure de tungstène est préféré dans ces procédés en raison de sa forte pression de vapeur, ce qui permet un dépôt efficace.
Cependant, il est important de manipuler et de stocker l'hexafluorure de tungstène avec prudence en raison de sa réactivité et de sa toxicité.y compris l'utilisation d'équipements de protection et de procédures de manutention appropriés, doit être respectée lors du traitement de ce composé.
| Objets d'essai | Unités | Exigences de qualité | Résultats des essais |
| CF4 | en ppm | Le taux de dépôt5 | Le taux de dépôt01 |
| O2 | en ppm | Le taux de dépôt5 | Le taux de dépôt01 |
| N2 | en ppm | < 1 | 0.03 |
| Le CO | en ppm | Le taux de dépôt5 | Le taux de dépôt02 |
| Le CO2 | en ppm | Le taux de dépôt5 | Le taux de dépôt01 |
| SiF4 | en ppm | Le taux de dépôt5 | Le taux de dépôt1 |
| SF6 | en ppm | Le taux de dépôt5 | Le taux de dépôt1 |
| HF | en ppm | < 5 | 0.19 |
| Je vous en prie. | ppb | ≤ 10 | Le taux de dépôt020 |
| Comme | ppb | ≤ 10 | Le taux de dépôt001 |
| B. Pour | ppb | ≤ 10 | Le taux de dépôt005 |
| À peu près | ppb | ≤ 5 | Le taux de dépôt200 |
| Cd | ppb | ≤ 2 | Le taux de dépôt001 |
| Cr | ppb | ≤ 10 | Le taux de dépôt020 |
| Le Fe | ppb | ≤ 10 | Le taux de dépôt007 |
| Le K. | ppb | ≤ 5 | Le taux de dépôt100 |
| Nom de l'entreprise | ppb | ≤ 10 | Le taux de dépôt001 |
| Je ne sais pas. | ppb | ≤ 5 | Le taux de dépôt040 |
| Le | ppb | ≤ 01 | Le taux de dépôt001 |
| - Je vous en prie. | ppb | ≤ 10 | Le taux de dépôt002 |
| Je vous en prie. | ppb | ≤ 10 | Le taux de dépôt002 |
| U | ppb | ≤ 005 | Le taux de dépôt001 |
| Zn | ppb | ≤ 10 | Le taux de dépôt005 |
| Je sais. | ppb | ≤ 10 | Le taux de dépôt100 |
| Pb | ppb | ≤ 10 | Le taux de dépôt001 |
| P | ppb | ≤ 2 | Le taux de dépôt300 |
| M.g. | ppb | ≤ 10 | Le taux de dépôt020 |
| Je ne sais pas | ppb | ≤ 20 | Le taux de dépôt030 |
| - Je vous en prie. | ppb | ≤ 5 | Le taux de dépôt005 |
| Je vous en prie. | ppb | ≤ 10 | Le taux de dépôt001 |
| Impuretés totales d'autres métaux | ppb | ≤ 500 | Le taux de dépôt0010 |
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| Nombre De Pièces: | 1 pièce |
| Prix: | US $ 15/PC |
| Emballage Standard: | Cylindre/réservoir |
| Période De Livraison: | 15 jours |
| Méthode De Paiement: | L/C, T/T |
| Capacité D'approvisionnement: | 200 tonnes par an |
L'hexafluorure de tungstène (WF6) est un composé chimique composé d'un atome de tungstène et de six atomes de fluor.L'hexafluorure de tungstène est très réactif et peut réagir violemment avec l'eau ou l'humidité de l'air., libérant du fluorure d'hydrogène.
Les applications de l'hexafluorure de tungstène comprennent son utilisation comme précurseur pour le dépôt de films de tungstène dans les processus de fabrication de semi-conducteurs.Il est couramment utilisé dans les techniques de dépôt de vapeur chimique (CVD) pour créer des films minces de tungstène pour diverses applicationsL'hexafluorure de tungstène est préféré dans ces procédés en raison de sa forte pression de vapeur, ce qui permet un dépôt efficace.
Cependant, il est important de manipuler et de stocker l'hexafluorure de tungstène avec prudence en raison de sa réactivité et de sa toxicité.y compris l'utilisation d'équipements de protection et de procédures de manutention appropriés, doit être respectée lors du traitement de ce composé.
| Objets d'essai | Unités | Exigences de qualité | Résultats des essais |
| CF4 | en ppm | Le taux de dépôt5 | Le taux de dépôt01 |
| O2 | en ppm | Le taux de dépôt5 | Le taux de dépôt01 |
| N2 | en ppm | < 1 | 0.03 |
| Le CO | en ppm | Le taux de dépôt5 | Le taux de dépôt02 |
| Le CO2 | en ppm | Le taux de dépôt5 | Le taux de dépôt01 |
| SiF4 | en ppm | Le taux de dépôt5 | Le taux de dépôt1 |
| SF6 | en ppm | Le taux de dépôt5 | Le taux de dépôt1 |
| HF | en ppm | < 5 | 0.19 |
| Je vous en prie. | ppb | ≤ 10 | Le taux de dépôt020 |
| Comme | ppb | ≤ 10 | Le taux de dépôt001 |
| B. Pour | ppb | ≤ 10 | Le taux de dépôt005 |
| À peu près | ppb | ≤ 5 | Le taux de dépôt200 |
| Cd | ppb | ≤ 2 | Le taux de dépôt001 |
| Cr | ppb | ≤ 10 | Le taux de dépôt020 |
| Le Fe | ppb | ≤ 10 | Le taux de dépôt007 |
| Le K. | ppb | ≤ 5 | Le taux de dépôt100 |
| Nom de l'entreprise | ppb | ≤ 10 | Le taux de dépôt001 |
| Je ne sais pas. | ppb | ≤ 5 | Le taux de dépôt040 |
| Le | ppb | ≤ 01 | Le taux de dépôt001 |
| - Je vous en prie. | ppb | ≤ 10 | Le taux de dépôt002 |
| Je vous en prie. | ppb | ≤ 10 | Le taux de dépôt002 |
| U | ppb | ≤ 005 | Le taux de dépôt001 |
| Zn | ppb | ≤ 10 | Le taux de dépôt005 |
| Je sais. | ppb | ≤ 10 | Le taux de dépôt100 |
| Pb | ppb | ≤ 10 | Le taux de dépôt001 |
| P | ppb | ≤ 2 | Le taux de dépôt300 |
| M.g. | ppb | ≤ 10 | Le taux de dépôt020 |
| Je ne sais pas | ppb | ≤ 20 | Le taux de dépôt030 |
| - Je vous en prie. | ppb | ≤ 5 | Le taux de dépôt005 |
| Je vous en prie. | ppb | ≤ 10 | Le taux de dépôt001 |
| Impuretés totales d'autres métaux | ppb | ≤ 500 | Le taux de dépôt0010 |
